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高精度微机电系统硅压力变送器的结构和工作原理；

由于传感器的输出是非标准信号，为了使传感器通用，便于信号传输和记录，传感器与标准信号输入电路配合，输出符合标准的信号。此时输出标准信号的传感器称为变送器。

简而言之，发射器是由传感器逐渐发展而来的。本文研究的扩散硅压力变送器主要由微机电系统传感器、测量胶囊以及接口和处理电路(智能电路板)组成。

如图所示，压力传感器和二极管温度传感器一起封装在测量舱的顶部，舱体由两个密封法兰夹紧，形成变送器的测量部分，变送器负责将工作现场待测压力信号转换成电压信号。另外，电子电路板、液晶显示仪表和连接端子构成显示部分，通过双线信号处理，将传感器输出的电压信号放大转换为4-20mA后，负责输出标准电流信号。

如何压力变送器工作:

基于单晶硅的压阻效应，利用先进的微机电加工技术在硅片上制作特定方向的弹性元件，利用集成电路技术制作的四个阻值相等的力敏电阻在适当位置连接成惠斯通电桥。恒定的电压(电流)被施加到电桥，并且测量的压力通过密封在测量胶囊中的硅油被无损耗地传输到硅片。变送器输出与测量压力成线性比例的电压信号，然后通过电子电路将该电压信号放大并转换成双线标准信号。

根据其工作原理，压力传感器是变送器的重要组成部分，变送器的温度漂移主要来源于硅压力传感器的温度漂移。目前，对硅压力变送器温度漂移补偿的研究主要集中在硅压力传感器上。

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